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    氦質譜檢漏儀的使用說明
    2020.06.22

    1.設備工作原理

    檢漏儀內部組成:氦質譜檢漏儀主要由分子泵、質譜室、組合閥體,機械泵以及控制電路板等組成。

    檢漏儀的工作原理:氦質譜檢漏儀是根據質譜儀學原理,用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。ZQJ-542檢漏儀采用180度磁偏轉質譜室,鎢制燈絲發射出來的電子經過加速進入離化室,在離化室內與殘余氣體分子和經被檢件漏孔進入離化室的氦氣互相碰撞使其電離成正離子,這些離子在加速電場作用下進入磁場,由于洛倫茲力作用產生偏轉,由于不同質量數(m/e)的離子其偏轉半徑不同,這樣就將不同的離子分離開了。由于磁場參數是固定的,只有調節加速壓力就可以改變氦離子的偏轉半徑,使氦離子正好通過隔離板上的窄縫打到放大器入口,這樣就使氦離子(m/e=4)與其他離子分開了。氦離子流正比于容器中氦分壓。因此,對氦離子的測量可以用來確定被檢件的漏率。

    2.氦質譜檢漏儀系統的檢漏方式通常有兩種,一種為常規檢漏,另一種為逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵進氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。

    3.質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子,在室內來回地振蕩,并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,由于洛倫茲力作用產生偏轉,形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。

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