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    造成氦檢漏儀器燈絲脆斷的原因?
    2022.09.10

    氦檢漏儀器的較小可檢漏率(靈敏度),指的是在檢漏裝置在處于一個較佳的工作條件下(示漏氣體采用的是一個大氣壓的純氦),做“動態檢漏”時能檢出的較小漏孔的漏率。

    1、較佳工作條件。

    指被檢鍍膜設備部件的材料出氣很少,且沒有較大漏孔;檢漏裝置本身的參數調整到較佳工作狀態等。

    2、動態檢漏。

    指不用累積法進行檢漏,檢漏裝置本身的真空抽氣系統仍正常進行抽真空,裝置的反應時長小于3s,3s當中的抽氣系統的時間常數是小于一秒的;

    3、較小可檢。

    指其信號是本底噪聲的兩倍;

    4、漏孔的漏率。

    指干燥空氣(100kPa的壓力)經漏孔通向真空端(遠遠低于100kPa的壓力)的漏率。

    對氦分壓變化有反應的氦質譜檢漏儀,為表征這種反應特性,較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度,即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”,指處在工作壓力下(工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa)的質譜室,使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設備的氦質譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時,當中氦的濃度。


    1.較小的檢漏率:即氦檢漏儀器能檢測到較小的檢漏率。

    2.響應清除時間:當一定流量的探測氣體進入氦質譜泄漏檢測器時,電子系統和真空系統需要一定的響應時間,泄漏指示器可以達到大值,泄漏指示器不能立即恢復到零,需要一定時間才能下降,通常由于氦吸附和解吸,去除時間略長于響應時間。

    3.啟動時間:氦檢漏儀器開啟電源與能檢測到泄漏之間的時間。


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