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    氦質譜檢漏儀是否有精度級別一說?
    2021.11.10
    所謂的精度終指向的是--測試氦分壓 (微觀為個數,宏觀則表現為在容器壁上的壓力)(空氣中5ppm氦氣)
    (1)吸槍質譜檢漏,假定流量為300 sccm, 則檢漏儀的真實本底為 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行業中吸槍式都標準在常壓情況下能測到E-7,是因為加入了軟件濾波(抑零)等。
    (2)真空法,氦本底=分子泵抽速(輔助泵有則加上)*腔體內氦濃度*入口處壓力,有很多外部條件。


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